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等離子去膠渣機(jī)

產(chǎn)品功能

可進(jìn)行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時(shí)間;

專(zhuān)利設(shè)計(jì)之特殊等離子電極;

特殊之氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì);

處理之均勻性佳;

等離子均勻性佳;

可使用多種制程氣體;

全自動(dòng)且容易操作;

設(shè)備穩(wěn)定高,容易維護(hù);

可根據(jù)客戶(hù)需求設(shè)計(jì)專(zhuān)用特殊規(guī)格之機(jī)臺(tái)。

相關(guān)解決方案

PCB、FPC/PCB, FPC, etc.

印刷或黏著前之表面粗化或清潔。        

項(xiàng)目

PD06

機(jī)臺(tái)尺寸

2000(W)*2100(D)*2626(H)mm

腔體尺寸

1100(W)*1480(D)*1220(H)mm

腔體材質(zhì)

不銹鋼體+鋁腔體門(mén)

電極

水冷電極

處理能力

PCB: 28片(20"*24"),可移動(dòng)式夾具

電源供應(yīng)器

10KWatts

流量計(jì)

標(biāo)準(zhǔn)四顆(N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆

壓力計(jì)

760~10-3torr

真空幫浦

干式幫浦+魯式幫浦

冰水機(jī)


溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)


臺(tái)車(chē)



標(biāo)簽: